MINILOAD

Mini-Load适用于MGZ标准载具的自动化存取,通过紧凑型堆垛机、高密度货架和智能调度软件,实现物料的高效存储、精准分拣与快速周转。

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STOCKER用于半导体洁净室内生产工序与工序之间晶圆载具的传送和存储。本设备支持FOUP、Cassette、Magazine、Tray等SEMI标准载具的高效存取,可实现AMR与OHT对接,兼容人工上下料模式,严格遵循洁净室FED-209E及SEMI E88(Stocker SEM)规范,满足高洁净环境、高吞吐效率与智能化管理的严苛需求。

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  技术亮点

  • 高速节拍:高速堆垛机速度快,高速机械手节拍快
  • 高密度存储:货架层高可调(最小间距150mm),存储密度较传统货架提高300%,适配仓库面积受限场景。
  • 高可靠性:振动值低,稳定性高,安全可靠性高
  • 柔性扩展:模块化架构支持按需增减货架层数、堆垛机数量

 

产品参数

序号

项目

规格

1

Clean Class

千级

2

L·W·H

2500*1500*2800

3

走行速度/加速度

2m/s,2m/s²

4

升降速度/加速度

2m/s,1.8/s²

5

Fork time

 9s

6

节拍(取放一次)

22.5s

7

Electric power

Normal: 3phase,   380V, 50Hz

8

通讯方式

拖链或光通讯

9

供电方式

拖链或滑触线

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